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　　反射金相顯微鏡由鏡筒、真空系統(tǒng)和電源柜三部分組成。

　　鏡筒主要有電子槍、電子透鏡、樣品架、熒光屏和照相機構(gòu)等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體；真空系統(tǒng)由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接；電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

　　該系統(tǒng)分成兩部分：電子槍和會聚鏡。電子槍由燈絲(陰極)、柵級和陽極組成。加熱燈絲發(fā)射電子束。在陽極加電壓，電子加速。陽極與陰極間的電位差為總的加速電壓。經(jīng)加速而具有能量的電子從陽極板的孔中射出。射出的電子束能量與加速電壓有關(guān)，柵極起控制電子束外形的作用。電子束有一定的發(fā)散角，經(jīng)會聚鏡調(diào)節(jié)后，可看得到發(fā)散角，很小甚至為0的平行電子束。電子束的電流密度(束流)可通過調(diào)節(jié)會聚鏡的電流來調(diào)節(jié)。

　　反射金相顯微鏡是將精銳的光學(xué)顯微鏡技術(shù)、先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、的數(shù)碼成像技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項高科技產(chǎn)品，既可人工觀察金相圖像，又可以在數(shù)碼相機上很方便地適時觀察金相圖像，并以數(shù)碼照片記錄下來，從而對金相圖譜進(jìn)行分析，評級等，還可以數(shù)碼沖洗或打印出高像素金相照片。